Laserstrukturieren
Laserabtragen dünner Schichten

Der lokale und präzise oberflächliche Werkstoffabtrag dünner Schichten findet Einzug in die unterschiedlichsten Bereiche der industriellen Fertigung. Die Grundlage aller Anwendungsfälle ist ein Abtragsprozess, der durch eine durch kurze, hochenergetische Laserpulse ausgelösten Materialablation gekennzeichnet ist. Dabei werden gütegeschaltete Festkörperlaser eingesetzt, die auch bei Pulswiederholraten einiger 10 kHz noch hohe Pulsleistungen bei ausgezeichneter Strahlqualität bieten. Die typischen Mikrostrukturen weisen bei der Dünnschicht-Strukturierung Breiten von 10-100 µm und abgetragene Schichtdicken von 0,1 - 3 µm auf, die durch einmaliges Überfahren erzeugt werden. Laser-Dünnschichtstrukturierung findet beispielsweise statt in Fertigungsprozessen der Photovoltaik bei der Flachbildschirmfertigung oder Projektionsmasken-Herstellung.

Geeignete Laser

StarShape E/D/L